Найдётся всё! Скачать бесплатно! !!!База ГОСТов ежемесячно обновляется!!!
НОРМАТИВНЫЕ ДОКУМЕНТЫ ЗДЕСЬ
Информационная система МЕГАНОРМ
Сортировка от ГОСТов по индексу ( по каждой ссылке открывается 100 ГОСТ в заданном диапазоне номеров)
Для поиска по странице нажмите на клавиатуре CTRL+F
Главная

ГОСТы

Типовые проекты
ГОСТы 2011года
ГОСТы 2012года
ГОСТы 2013года
Помощь сайту
 

ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение:ГОСТ 5.2105-73
Статус:действующий
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:19.03.2013
Дата актуализации описания:19.03.2013
Дата введения в действие:01.09.1973
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов


ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73



www.gost-load.ru

???????@Mail.ru